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失效分析服务

我司拥有完善的失效分析平台,具有先进的SEM,FIB,EDS分析能力,为客户提供晶圆级和芯片级表面缺陷扫描,定位切割,成分分析等服务:

设备支撑:

-- 场发射扫描电子显微镜(SEM)Hitachi Regulus 8100,同时加装EDS(Energy Dispersive Spectrometer),可提供高分辨率表面微观结构扫描以及成分分析服务。 -- 双束聚焦离子束Thermo Fisher Scios2 Dual Beam,同时设备加装EDS(Energy Dispersive Spectrometer),可提供高分辨率表面微观结构定位切割、扫描、芯片电路修改以及成分分析服务。

--能量散射光谱仪EDS (Energy Dispersive Spectrometer):利用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征X射线,根据X射线波长对样品进行定性与半定量化学成分分析。



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-- 场发射扫描电子显微镜(SEM)Hitachi Regulus 8100,同时加装EDS(Energy Dispersive Spectrometer),可提供高分辨率表面微观结构扫描以及成分分析服务。 -- 双束聚焦离子束Thermo Fisher Scios2 Dual Beam,同时设备加装EDS(Energy Dispersive Spectrometer),可提供高分辨率表面微观结构定位切割、扫描、芯片电路修改以及成分分析服务。
--能量散射光谱仪EDS (Energy Dispersive Spectrometer):利用电子束轰击样品表面,激发物质发射出特征X射线,根据X射线波长对样品进行定性与半定量化学成分分析。
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